LPCVD氮化硅薄膜的室温可见光发射

• 作者: 刘世祥 刘渝珍 叶甜春 孙宝银 石万全 赵玲莉 陈梦真 韩一琴
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 激发 LPCVD 光致发光 能隙态模型
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 517-520
• 页数: 4页
• 分类号: O433.4
• 字数: 1597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2000.05.020

摘要

在4.66eV的激光激发下,在室温下LPCVD氮化硅薄膜可发射高强度可见光,其峰位位置分别为2.97,2.77,2.55,2. 32,2.10和1.90eV的6个PL峰,建立了可见光发射的能隙态模型,讨论了发光机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶甜春	中国科学院微电子研究中心	200	911	14.0	18.0
2	赵玲莉	中国科学院微电子研究中心	4	54	3.0	4.0
3	孙宝银	中国科学院微电子研究中心	2	10	2.0	2.0
4	刘渝珍	中国科技大学研究生院	1	7	1.0	1.0
5	石万全	中国科技大学研究生院	1	7	1.0	1.0
6	韩一琴	中国科技大学研究生院	1	7	1.0	1.0
7	刘世祥	中国科技大学研究生院	1	7	1.0	1.0
8	陈梦真	中国科学院微电子研究中心	1	7	1.0	1.0