轴向保护极板对电容层析成像传感器的影响

• 作者: 吴恩庚 王师 许会 颜华
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容层析成像 保护极板 敏感场 三维
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 159-162
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 字数: 2362字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2000.02.015

摘要

介绍三种可用于三维成像的电容传感器结构,利用三维有限元软件仿真分析不同结构传感器的灵敏场特性,最后给出三种结构传感器的成像结果及相应的空间图像误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	颜华	东北大学信息科学与工程学院	10	135	6.0	10.0
2	王师	东北大学信息科学与工程学院	65	927	18.0	26.0
3	许会	沈阳工业大学信息科学与工程学院	42	285	9.0	15.0
4	吴恩庚	东北大学信息科学与工程学院	6	45	4.0	6.0