用于共振腔光电探测器的Si基Bragg反射器

• 作者: 余金中 彭晔 成步文 朱家廉 李成 杨沁清 王启明 王红杰 王鲁峰
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 共振腔光电探测器 Bragg反射器 反射谱
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 483-485
• 页数: 3页
• 分类号: TN362
• 字数: 668字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2000.05.014

摘要

Si基共振腔型光电探测器的关键工艺是隐埋Bragg反射器镜面的制备.用PECVD方法在Si衬底上制备了SiOxNy/Si Bragg反射器,研究了Bragg反射器的反射谱和退火行为.