基于神经网络方法预测薄膜的厚度

• 作者: 于丽娟 朱长纯 陈晓宁
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 厚度 预测 神经网络
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 400-403
• 页数: 4页
• 分类号: TN711.4
• 字数: 2879字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2000.04.016

摘要

首次利用前馈三层神经网络模型，建立了场发射薄膜的膜厚的神经网络预测模型，用金刚石薄膜的膜厚数据进行验证.结果表明，该模型预测的相对误差小于6.1％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱长纯	西安交通大学电信工程学院电子系	215	2372	22.0	41.0
2	于丽娟	西安交通大学电信工程学院电子系	4	7	2.0	2.0
3	陈晓宁	西安交通大学电气工程学院	6	160	4.0	6.0