纳米测量技术与微型智能仪器

• 作者: 王朝晖 王海容 蒋庄德
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 纳米技术 精密测量 微型机械电子系统 智能仪器
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 面向21世纪计量测试理论与仪器专辑
• 页码范围: 248-251
• 页数: 4页
• 分类号: TG8|TH7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2000.03.003

摘要

纳米测量技术已成为纳米技术的重要组成部分.微型智能仪器,是微型传感器、微型执行器和信息处理技术、微电子技术发展的必然产物,是微型机械电子系统的主要研究内容之一.它将使仪器的性能提高、价格下降、在生产和生活中应用更加方便.微型智能仪器具有良好的应用前景,是21世纪仪器发展的一个重要方向.对纳米测量技术和微型智能仪器的一些普遍问题、关键技术及其发展进行论述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德		165	1512	18.0	28.0
2	王朝晖		19	211	8.0	14.0
3	王海容		29	262	10.0	15.0