纯银等离子体基离子注入Al层的成分及相分析

• 作者: 于伟东 夏立芳 孙明仁 孙跃 马欣新
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金属等离子体 等离子体基离子注入 Ag X射线光电子能谱 掠射X射线衍射
• 年，卷（期）: 2000,（8）
• 页码范围: 805-808
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444|O484.1
• 字数: 2907字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2000.08.006

摘要

采用金属等离子体基离子注入的方法,在Ag基体上注入了Al.用X射线光电子能谱仪(XPS)对注入层的Al浓度-深度分布和化学态进行了分析.用X射线衍射法(XRD)对注入层和非平衡磁控溅射的Al沉积层相组成进行了测定和比较,选用小掠射角(3°)XRD对注入层的相组成进行了测定.结果表明,注入层中Al浓度沿深度方向逐渐降低,表面有Ag原子存在;近表面处形成了Ag-Al固溶体并且出现了少量的μ-Ag3Al相;较深处有氧化铝的形成,出现Ag-Al固溶体、μ-Ag3Al相和氧化铝三相共存;更深处,Al含量很快下降,Ag-Al固溶体消失,出现μ-Ag3Al相和氧化铝共存.μ-Ag3Al相为β-Mn复杂立方结构,可以在很宽的Al含量范围内形成,而Al沉积层中未出现Ag3Al相.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于伟东	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0
2	夏立芳	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	48	772	16.0	26.0
3	孙跃	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	41	374	12.0	17.0
4	马欣新	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	57	307	10.0	14.0
5	孙明仁	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	20	115	6.0	9.0