第2系列ZrO2(Y2O3)薄膜的慢正电子研究

• 作者: 周先意 夏风 翁惠民 邹柳娟 邹道文 韩荣典 黄千峰
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 慢正电子束 ZrO2(Y2O3)薄膜 表面缺陷
• 年，卷（期）: 2000,（7）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 1352-1355
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 3136字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2000.07.028

摘要

用慢正电子技术研究了在溅射时不加偏压,衬底加热300℃,纯Ar气氛下制备的用Y2O3稳定的ZrO2薄膜材料(简称YSZ薄膜),发现了YSZ薄膜在不同深度处的缺陷分布情况,退火温度对YSZ薄膜缺陷有影响.简要讨论了致密、优质YSZ薄膜的制备方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周先意	中国科学技术大学现代物理系	32	128	7.0	10.0
2	韩荣典	中国科学技术大学现代物理系	23	125	6.0	10.0
3	翁惠民	中国科学技术大学现代物理系	28	92	5.0	8.0
4	邹道文	江西师范大学物理系	19	155	7.0	12.0
5	邹柳娟	华中理工大学物理系	5	8	2.0	2.0
6	夏风	华中理工大学物理系	5	3	1.0	1.0
7	黄千峰	中国科学技术大学现代物理系	1	0	0.0	0.0