Au/Au(100)外延薄膜生长的计算机模拟及其微观机制研究

• 作者: 张庆瑜 汤家镛 潘正瑛 马腾才
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 297-305
• 页数: 9页
• 分类号: O4
• 字数: 6596字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2000.02.024

摘要

在分子动力学研究的基础上建立了气相沉积原子的沉积动力学物理模型,并根据在局域环境下的表面原子扩散模型,通过运动学Monte Carlo方法研究了Au/Au(100)外延薄膜的初期生长过程,探讨了薄膜外延生长随基体温度的变化.通过气相外延沉积的计算机模拟发现:单原子扩散过程在薄膜生长中起着极为关键的作用.当薄膜生长温度低于单原子的扩散温度时,表面原子的成核和表面岛的生长主要是由沉积原子的空间随机性和表面原子密度增加而决定的;随着薄膜生长温度的提高,薄膜的生长模式则取决于单原子的层内扩散和层间扩散的竞争.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马腾才	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	81	688	15.0	21.0
2	张庆瑜	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	92	897	16.0	25.0
3	潘正瑛	复旦大学现代物理研究所基于加速器的原子及原子核物理开放实验室	4	80	3.0	4.0
4	汤家镛	复旦大学现代物理研究所基于加速器的原子及原子核物理开放实验室	4	51	2.0	4.0