特殊光学码盘刻线线宽测量仪

• 作者: 谢小平
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学码盘 扫描检测 刻线宽度
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TB9
• 字数: 1408字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2000.01.005

摘要

本文介绍利用CCD扫描方式检测光学码盘刻线线宽及线间距的系统组成及其误差分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢小平	中国科学院光电技术研究所	21	55	5.0	6.0