热激励谐振式硅微结构压力传感器

• 作者: 刘广玉 樊尚春
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振式微传感器 硅微结构 压力传感器
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 34-36
• 分类号: TP2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2000.02.011

摘要

对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件;硅梁作为二次敏感元件的硅谐振式压力微传感器进行了研究:建立了微传感器敏感结构的数学模型;敏感结构参数:方形膜边长4 mm,膜厚0.1 mm,梁谐振子长1.3 mm,宽0.08 mm,厚0.007 mm;对原理实验样件采用电热激励、压阻拾振方式作了开环测试,讨论了传感器的闭环系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊尚春	北京航空航天大学自动控制系	161	841	15.0	21.0
2	刘广玉	北京航空航天大学自动控制系	8	136	5.0	8.0