电子回旋共振等离子体源的数值模拟

• 作者: 俞国扬 刘明海 胡希伟 邬钦崇
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 497-501
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 4479字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2000.03.022

摘要

采用自洽微波功率吸收的二维混合模型,对电子回旋共振等离子体源中的各种物理参量(电离速率、等离子体密度、位势、电子温度)进行数值模拟.结果表明:等离子体参数随运行条件(中性气压和微波功率)变化呈现出区域特征、饱和现象和振荡行为等非线性现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邬钦崇	中国科学院等离子体物理研究所	18	105	7.0	9.0
2	俞国扬	中国科学院等离子体物理研究所	6	84	4.0	6.0
3	刘明海	中国科学院等离子体物理研究所	3	12	1.0	3.0
7	胡希伟	中国科学技术大学近代物理系	1	12	1.0	1.0