激光双法布里--珀罗干涉纳米测量系统的理论分析

• 作者: 吴昭同 朱若谷 陈本永
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米测量 双法布里-珀罗干涉仪 理论分析
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 理论与实验
• 页码范围: 3-6
• 页数: 4页
• 分类号: TB9
• 字数: 1897字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2000.01.001

摘要

本文设计了一种基于双法布里-珀罗干涉仪、采用计算机实时处理、以轻拍式探针为传感器的新型纳米测量系统,描述了该系统的工作原理,详细进行了系统的理论分析.提出了通过测量双法布里-珀罗干涉仪透射光强基波幅值差或基波等幅值过零时间间隔的方法进行纳米测量的理论基础,分析了轻拍式探针的振动模型,给出了检测探针振幅变化的新方法及理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴昭同	浙江大学机械系精测教研室	177	4029	36.0	52.0
2	朱若谷	中国计量学院计测系精仪教研室	17	128	7.0	11.0
3	陈本永	浙江大学机械系精测教研室	7	53	5.0	7.0