单晶硅柱面反射镜的检测

• 作者: 余景池 刘国淦 张峰 王权陡 郭培基
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 柱线 柱面反射镜 检测
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 激光器件与元件
• 页码范围: 6
• 页数: 1页
• 分类号: TN2
• 字数: 99字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2000.03.005

摘要

柱面镜的加工和检测都较球面困难,这使其应用受到一定的限制.本文介绍了我们在加工一组单晶硅柱面镜扩束系统时针对我们所要加工的柱面镜的特点,采用柱面的反射光作被检光,使其与参考光干涉的方法检测柱线以及用检测系统来评价最后加工结果的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	149	3496	30.0	56.0
2	郭培基	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	51	4.0	5.0
3	余景池	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	179	8.0	10.0
4	王权陡	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	8	137	6.0	8.0
5	刘国淦	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	39	3.0	3.0