圆光栅均匀性误差的测量

• 作者: 张红胜
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 圆光栅 均匀性误差 角位移误差 对比度系数
• 年，卷（期）: 2000,（12）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 22-25
• 页数: 4页
• 分类号: TB9
• 字数: 2011字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2000.12.009

摘要

本文对测量圆光栅均匀性误差的方法和测量过程的控制作了探讨,并提出用对比度系数,把均匀性误差与给角位移传感器带进的测量误差的内在联系建立起来.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张红胜	中科院长春光学精密机械与物理研究所	1	8	1.0	1.0