利用光固化树脂作为结合剂的超薄型切割砂轮的研制

• 作者: 彭伟 柳原 圣 谷 泰弘
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 切割砂轮 光固化树脂 快速成形 磨具
• 年，卷（期）: 2000,（7）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 724-726
• 页数: 4页
• 分类号: TG580
• 字数: 2716字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2000.07.002

摘要

利用光固化树脂作为结合剂研制成功厚度为0.15 mm的超薄型金刚石切割砂轮,并完成了对单晶硅片的切割试验.研究结果表明,经SiO2微粒增强后的光固化树脂可以替代热固化树脂用作超薄型切割砂轮的结合剂,微粒添加量的大小是影响超薄型切割砂轮的机械性能和切割精度的一个重要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭伟		75	605	12.0	20.0
2	谷 泰弘		1	11	1.0	1.0
3	柳原 圣	东京大学生产技术研究所	1	11	1.0	1.0