铟锡氧化物陶瓷靶材热等静压致密化研究

• 作者: 吴义成 张树高 扈百直 方勋华 黄伯云
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 钢铝氧化物 陶瓷靶材 热等静压 致密化
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 研究现开发
• 页码范围: 383-384,387
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.21
• 字数: 2298字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2000.04.016

摘要

用化学共沉淀法制备了铟锡氧化物(ITO)复合粉末.粉末经冷等静压成型后进行热等静压致密化.热等静压时采用碳钢作包套,采用铜箔作隔层.实验研究了热等静压工艺参数--保温温度、保压压力和保温时间对ITO陶瓷靶材致密化的影响.实验结果表明:靶材的相对密度在大约1000℃处有一峰值;相对密度随压力增加而增加;当保温温度较低时,适当延长保温时间有利于提高密度;当保温温度较高时,延长保温时间反而使密度降低.分析了ITO在高温下的分解行为以及这种行为对致密化的作用.还分析了ITO复合粉末部分脱氧使ITO陶瓷半导化的机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄伯云	中南工业大学粉末冶金国家重点实验室	36	657	17.0	25.0
2	张树高	中南工业大学粉末冶金国家重点实验室	2	38	1.0	2.0
3	扈百直	中南工业大学粉末冶金国家重点实验室	1	38	1.0	1.0
4	吴义成	中南工业大学粉末冶金国家重点实验室	1	38	1.0	1.0
5	方勋华	中南工业大学粉末冶金国家重点实验室	1	38	1.0	1.0