溅射制备薄膜过程中的光谱在线测量研究

• 作者: 刘隆鉴 沈杰 章壮健
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 306-311
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 3969字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2000.02.025

摘要

在制备薄膜的过程中,利用光谱分析的方法,以放电光谱特征谱线强度的变化来反映相应物质成分的变化,以连续光谱光源发出的光透射过薄膜的透射率的变化,来反映薄膜的厚度、折射率、吸收系数等光学参数的变化,从而达到在制膜过程中,对薄膜的成分、厚度等参数进行在线监控的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈杰	复旦大学材料科学系	79	645	12.0	22.0
2	章壮健	复旦大学材料科学系	41	667	16.0	24.0
3	刘隆鉴	四川工业学院物理实验中心	4	11	2.0	3.0