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化学机械抛光
缓蚀剂
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去除率
粗糙度
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抛光技术
模具
表面质量
电解液组织
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 W在化学机械抛光过程中的电化学行为研究等47则
来源期刊 材料保护 学科
关键词
年,卷(期) 2000,(5) 所属期刊栏目 国内期刊纵览
研究方向 页码范围 56-59
页数 4页 分类号
字数 语种 中文
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相关学者/机构
期刊影响力
材料保护
月刊
1001-1560
42-1215/TB
大16开
湖北省武汉宝丰二路126号
38-30
1960
chi
出版文献量(篇)
7754
总下载数(次)
26
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