沉积在液体衬底上连续铝薄膜的微观结构

• 作者: 冯春木 叶高翔 曾耀武 焦正宽 陶向明
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 铝薄膜 液体衬底 微观结构
• 年，卷（期）: 2000,（11）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 2235-2239
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2182字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2000.11.023

摘要

研究了沉积在硅油衬底表面的连续铝薄膜的微结构及其表面形貌.与沉积在单晶硅表面的铝薄膜相比,两种铝薄膜均属颗粒结构,但硅油表面的铝薄膜具有颗粒尺寸较小、大小不均匀,表面起伏较大等特点,而且在该铝薄膜边缘的下表面,有一明显的波纹状楔型结构,其斜率仅为10-4-10-5.实验结果表明:这一现象是由于液体衬底的热膨胀行为引起的.此外对样品的晶态也进行了研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陶向明	浙江大学物理系	35	141	7.0	10.0
2	焦正宽	浙江大学物理系	35	172	6.0	12.0
3	叶高翔	浙江大学物理系	36	160	7.0	9.0
4	冯春木	浙江大学物理系	7	15	2.0	3.0
5	曾耀武	浙江大学物理系	1	5	1.0	1.0