射频辉光放电等离子体的电探针诊断及数据处理

• 作者: 姚若河 林揆训 林璇英 池凌飞 石旺舟
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 922-925
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2988字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2000.05.019

摘要

Langmuir探针是等离子体诊断的一个重要方法.对探针I-V曲线进行求解二次微商是获得等离子体中的电子能量分布函数的关键.由Fourier变换导出一个求解微商的数值解方法.克服了现有方法所存在的缺点.实现了对探针I-V曲线求解二次微商的精确、自动运算.测量了硅烷射频辉光放电等离子体的平均电子能量(温度)和浓度随放电功率的变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林璇英	汕头大学物理学系	40	400	10.0	18.0
2	林揆训	汕头大学物理学系	29	339	9.0	18.0
3	石旺舟	汕头大学物理学系	15	85	5.0	9.0
4	池凌飞	汕头大学物理学系	14	153	6.0	12.0
5	姚若河	汕头大学物理学系	23	197	6.0	14.0