超精密测量技术与仪器工程研究中的几个热点问题

• 作者: 谭久彬
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密 测量 仪器 内尺度 三维轮廓 基准 微驱动
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 面向21世纪计量测试理论与仪器专辑
• 页码范围: 257-261
• 页数: 5页
• 分类号: TG8|TH821
• 字数: 4947字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2000.03.006

摘要

介绍超精密测量技术与仪器工程研究中的几个热点问题:二维和三维微小内尺度精密和超精密测量技术、超精密三维轮廓与坐标测量技术、无基准三维轮廓测量技术、超精密回转基准和直线基准技术、大输出力、高稳定性超微驱动技术等.这些问题代表了目前超精密测量技术和仪器工程研究的发展趋势,优先发展仪器单元技术和解决关键技术是促使仪器工程精度水平迅速提高的关键.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬		140	2284	28.0	42.0