电容器

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 高压铝电解电容器 金属绝缘体金属 射频电路 氮化物 混合信号 高密度 电子元件 电解质 去极化剂 表面层型半导体陶瓷电容器
• 年，卷（期）: 2000,（12）
• 页码范围: 12-12
• 页数: 1页
• 分类号: TN

摘要

【正】 Y2000-62135-245 0019861采用 PECVD 氮化物用于混合信号和射频电路的高密度金属绝缘体金属电容器=High density metal insula-tor metal capacitors using PECVD Nitride for mixed sig-nal and RF circuits[会,英]/Kar-Roy,A.& Hu,C.//1999 IEEE Proceedings of InternationaI InterconnectTechnology Conference.-245～247(EC)