SOI集成光电子器件

• 作者: 余金中 刘忠立 史伟 张小峰 房昌水 魏红振
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: SOI 集成光学 光电集成 光波导
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 7-11
• 页数: 5页
• 分类号: TN491|TN256
• 字数: 3912字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2001.01.002

摘要

Silicon-on-insulator(SOI)集成光电子器件的工艺与标准CMOS工艺完全兼容，采用SOI技术可以实现低成本的整片集成光电子回路。文章回顾了近几年来SOI集成光电子器件的发展以及一些最新的研究进展。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	房昌水	山东大学人工晶体研究所	53	430	13.0	19.0
2	刘忠立	中国科学院半导体所 微电子中心	77	412	12.0	14.0
3	余金中	中国科学院半导体所	110	703	13.0	21.0
4	魏红振	中国科学院半导体所	8	83	5.0	8.0
5	张小峰	中国科学院半导体所	13	118	6.0	10.0
6	史伟	山东大学人工晶体研究所	18	145	7.0	11.0