由复合薄膜测定单层薄膜的杨氏模量

• 作者: Susan C.Mantell 周嘉 黄宜平
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 其他
• 关键词: 杨氏模量 机械性能 PZT 薄膜
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 7-13
• 页数: 7页
• 分类号: O.484.5
• 字数: 1815字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2001.01.002

摘要

本文介绍了由复合薄膜测定单层薄膜的杨氏模量的一种新方法。考虑到圆膜形成时的初始变形，本文采用了球壳模型，通过测量圆形复合薄膜在集中载荷作用下的变形，获得其中单层薄膜材料的杨氏模量。以PZT/Pt/Ti/SiO2复合薄膜试样为例，测得单层PZT薄膜的杨氏模量为119±12 GPa。这一数据应用于PZT微悬臂梁的振动分析，发现ANSYS谐振模拟和实验测试结果相符。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周嘉	复旦大学电子工程系	25	123	7.0	10.0
2	黄宜平	复旦大学电子工程系	39	270	10.0	14.0
3	Susan C.Mantell	密里苏达大学机械系	1	2	1.0	1.0