磁过滤真空弧沉积中过滤管道的第二阳极作用研究

• 作者: 张荟星 王广甫
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁过滤管道 阴极真空弧 第二阳极作用 等效电路
• 年，卷（期）: 2001,（10）
• 页码范围: 842-847
• 页数: 6页
• 分类号: TL657
• 字数: 3381字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2001.10.008

摘要

利用一台磁过滤真空弧沉积装置,初步研究了磁过滤管道对系统弧放电的影响.实验证明,磁过滤管道在阴极真空弧沉积中不仅起到消除大颗粒的作用,还作为阴极真空弧放电的第二阳极对弧放电产生影响.给出了磁过滤阴极真空弧放电的等效电路,并用此电路对磁过滤阴极真空弧放电中的部分实验现象进行了解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张荟星	北京师范大学低能核物理研究所	17	115	6.0	10.0