薄膜的力学测试技术

• 作者: 张统一 赵明皞 陈隆庆
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 薄膜 力学性能 残余应力 弹性模量 强度 硬度 纳米压痕 压痕断裂法 微桥 微悬臂梁 微旋转结构 鼓膜试验
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统的测试
• 页码范围: 413-429
• 页数: 17页
• 分类号: TB3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2001.04.007

摘要

对薄膜力学性能的测试方法、技术以及所取得的主要成果进行简要的综合介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵明皞	香港科技大学机械工程系	2	127	2.0	2.0
2	张统一	香港科技大学机械工程系	4	129	2.0	4.0
3	陈隆庆	香港科技大学机械工程系	1	123	1.0	1.0