探测器级NTD硅单晶的研制

• 作者: 李强
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 探测器级 NTD 硅单晶
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 238-240
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.1+2
• 字数: 1896字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2001.03.020

摘要

介绍了探测器级 NTD 硅单晶的制作工艺，并对如何保证探测器级 NTD 硅单晶的质量进行了讨论。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李强		1	0	0.0	0.0