RCE光电探测器顶部DBR的优化

• 作者: 吴荣汉 唐君 杜云 梁琨 邓晖 陈弘达
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直腔面发射激光器(VCSEL) 谐振腔增强型(RCE)光电探测器 分布式布拉格反射镜(DBR) 自由空间光互连(FSOI)
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 409-412
• 页数: 5页
• 分类号: TN15
• 字数: 592字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.04.004

摘要

对研制的VCSEL结构外延片制成的谐振腔增强型（简称RCE）光电探测器进行了物理分析和实验研究，由于VCSEL与RCE光电探测器对谐振腔反射镜的反射率要求不同，通过腐蚀VCSEL器件顶部DBR，改变顶镜反射率，能够得到量子效率峰值和半宽优化兼容的RCE光电探测器，实现VCSEL与RCE探测器的单片集成．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜云	中国科学院半导体研究所	21	67	5.0	7.0
2	陈弘达	中国科学院半导体研究所	82	341	10.0	13.0
3	唐君	中国科学院半导体研究所	14	42	3.0	6.0
4	梁琨	中国科学院半导体研究所	6	14	2.0	3.0
5	吴荣汉	中国科学院半导体研究所	22	159	8.0	12.0
6	邓晖	中国科学院半导体研究所	6	45	4.0	6.0