栅结构微机械陀螺运动特性的研究

• 作者: 熊斌 王跃林 车录锋
• 来源期刊: 机械强度
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 角速度传感器 微机械陀螺
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统器件与工艺
• 页码范围: 527-530
• 页数: 4页
• 分类号: TH11
• 字数: 3090字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2001.04.028

摘要

对一种新型微机械振动陀螺原型的运动特性进行了理论分析.采用差分电容信号调制解调方法测量了微机械陀螺驱动和检测模态的幅频特性.理论计算和实验结果表明,在大气状态下,该微机械陀螺驱动模态和检测模态的品质因子具有相近数值,在100左右.测量了驱动模态静电激励驱动下,微机械陀螺检测模态的幅频特性,实验结果表明,在无角速度输入的情况下,微机械陀螺在驱动模态和检测模态的谐振频率处发生谐振.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊斌	中国科学院上海冶金研究所	54	412	11.0	16.0
2	王跃林	中国科学院上海冶金研究所	84	623	14.0	18.0
3	车录锋	中国科学院上海冶金研究所	38	363	11.0	16.0