超高频AT切基模石英晶体揩振器制作

• 作者: 曹东英
• 来源期刊: 压电晶体技术
• 学科: 工学
• 关键词: AT切基模 石英晶体谐振器 高频 振荡器
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 15-20
• 页数: 6页
• 分类号: TN752.2

摘要

超高频基模AT切型石英晶体谐振器的生产制作是采用湿润的高速率的化学腐蚀方法与低速率高精度调整晶体厚度的离子刻蚀相结合的方法。为了减小晶片与电极分界面由于不同的材料有不同的热膨胀系数造成的热应力，选择了与晶体热膨胀系接近的金（Au)作电极材料，电极的厚度严格按照合适的镀膜反回量。反面电级膜厚相当于电极区晶片厚度的9％，中心谐振频率为622MHz。该谐振器有良好的频率温度特性，在－35℃～+85℃温度范围内，频率漂移在±10PPM之内。此外，利用Colpitts振荡电路与622MHz谐振器组装的压控晶体振荡器（VCXO），其压控频率特性可达±120PPM／＋2．5±2V而且相位噪声在频率偏移1kHz处为－100dBc/Hz。