聚焦离子束(FIB)技术及其在微电子领域中的应用

• 作者: 刘立建 王家楫 谢进
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: FIB 集成电路 微细加工 微分析
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 19-24，44
• 页数: 7页
• 分类号: TN305
• 字数: 5455字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2001.02.006

摘要

FIB是一种将微分析和微加工相结合的新技术，在亚微米级器件的设计、工艺控制和失效分析等诸多领域发挥着非常重要的作用。本文将对聚焦离子束技术及其分析、加工的机理和性能作一介绍，并对该技术在微电子领域中的应用及发展作一综述。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王家楫	复旦大学国家微分析中心	25	114	6.0	9.0
2	刘立建	复旦大学国家微分析中心	1	0	0.0	0.0
3	谢进	复旦大学国家微分析中心	7	73	5.0	7.0