软X射线波段多层膜-多层膜光栅单色器

• 作者: 刘文汉 崔宏滨 高琛
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 软X射线 多层膜 多层膜光栅 单色器
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 页码范围: 541-546
• 页数: 6页
• 分类号: O434.1|O484.4+1|TH744.1
• 字数: 3092字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2001.07.003

摘要

从多层膜和多层膜光栅的衍射特性出发,得到了适用于软X射线波段的组合式多层膜-多层膜光栅单色器的工作原理和色散性质.如果多层膜和多层膜光栅的反射面之间保持适当的夹角,该夹角取决于多层膜的周期和光栅的周期之比,则由单色器出射的光束仍保持与入射光束平行,且有很好的色散及最大的光强输出.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘文汉		19	129	5.0	11.0
2	高琛		13	155	6.0	12.0
3	崔宏滨		3	4	1.0	2.0