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CVD金刚石薄膜晶粒尺寸对热导率的影响
CVD金刚石薄膜晶粒尺寸对热导率的影响
作者:
丘万奇
刘正义
瞿全炎
黄元盛
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
金刚石
薄膜
晶粒尺寸
热导率
摘要:
用直流等离子喷射法,以甲烷、氢和氩气的混合气体为原料,在钼基体上合成了较高质量的CVD金刚石薄膜.对该薄膜的生长面及其背面的晶粒尺寸进行了研究,指出其-般规律,进一步探讨了CVD金刚石薄膜的晶粒尺寸对其热导率的影响规律.
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内容分析
文献信息
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相关学者/机构
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期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
CVD金刚石薄膜晶粒尺寸对热导率的影响
来源期刊
兵器材料科学与工程
学科
工学
关键词
金刚石
薄膜
晶粒尺寸
热导率
年,卷(期)
2001,(4)
所属期刊栏目
材料研究
研究方向
页码范围
28-30
页数
3页
分类号
TB34
字数
2302字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1004-244X.2001.04.009
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
刘正义
91
1225
21.0
32.0
2
黄元盛
14
113
7.0
10.0
3
瞿全炎
5
25
3.0
5.0
4
丘万奇
1
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研究主题发展历程
节点文献
金刚石
薄膜
晶粒尺寸
热导率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
兵器材料科学与工程
主办单位:
中国兵工学会
中国兵器工业集团第52研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1004-244X
CN:
33-1331/TJ
开本:
大16开
出版地:
浙江省宁波市(邮政210信箱)
邮发代号:
创刊时间:
1978
语种:
chi
出版文献量(篇)
3624
总下载数(次)
14
总被引数(次)
21871
相关基金
广东省自然科学基金
英文译名:
Guangdong Natural Science Foundation
官方网址:
http://gdsf.gdstc.gov.cn/
项目类型:
研究团队
学科类型:
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