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摘要:
用直流等离子喷射法,以甲烷、氢和氩气的混合气体为原料,在钼基体上合成了较高质量的CVD金刚石薄膜.对该薄膜的生长面及其背面的晶粒尺寸进行了研究,指出其-般规律,进一步探讨了CVD金刚石薄膜的晶粒尺寸对其热导率的影响规律.
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内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 CVD金刚石薄膜晶粒尺寸对热导率的影响
来源期刊 兵器材料科学与工程 学科 工学
关键词 金刚石 薄膜 晶粒尺寸 热导率
年,卷(期) 2001,(4) 所属期刊栏目 材料研究
研究方向 页码范围 28-30
页数 3页 分类号 TB34
字数 2302字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-244X.2001.04.009
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 刘正义 91 1225 21.0 32.0
2 黄元盛 14 113 7.0 10.0
3 瞿全炎 5 25 3.0 5.0
4 丘万奇 1 7 1.0 1.0
传播情况
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引文网络
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二级参考文献  (0)
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参考文献  (1)
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1966(1)
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2001(0)
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2008(3)
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2018(1)
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研究主题发展历程
节点文献
金刚石
薄膜
晶粒尺寸
热导率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
兵器材料科学与工程
双月刊
1004-244X
33-1331/TJ
大16开
浙江省宁波市(邮政210信箱)
1978
chi
出版文献量(篇)
3624
总下载数(次)
14
总被引数(次)
21871
相关基金
广东省自然科学基金
英文译名:Guangdong Natural Science Foundation
官方网址:http://gdsf.gdstc.gov.cn/
项目类型:研究团队
学科类型:
论文1v1指导