CVD金刚石形核的研究

• 作者: 刘正义 邱万奇 黄元盛
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石 二次形核
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 492-494
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1732字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.06.019

摘要

在钢渗铬层和硅片上进行了化学气相沉积金刚石膜,发现在渗铬层上形成的金刚石膜以球形金刚石为主;用高倍扫描电子显微镜分析显示,渗铬层上的球形金刚石是由大量二次晶核长大的微晶金刚石和非晶碳组成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱万奇	华南理工大学机电系	67	339	9.0	15.0
2	刘正义	华南理工大学机电系	91	1225	21.0	32.0
3	黄元盛	华南理工大学机电系	14	113	7.0	10.0