高支化碱溶性丙烯酸化聚酯光刻胶的性能及成像性研究

• 作者: 冯宗财 杜春蕾 王跃川 陈毅敏 陈波
• 来源期刊: 影像技术
• 学科: 工学
• 关键词: 高支化 感光聚合物 抗蚀剂 光成像
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 技术开发与研究
• 页码范围: 11-14
• 页数: 3页
• 分类号: TQ31
• 字数: 1603字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0270.2001.03.005

摘要

将高支化碱溶性丙烯酸化聚酯用于光改抗蚀剂,因其独特的三维结构而具有的低粘度,高活性使抗蚀剂膜收缩率小,而具有良好的成像显影性.通过控制合适的树脂酸值及成像显影条件,可得到良好断面的图像,并且抗蚀剂线条图分辨率可达～1μm.当光源分别为平行光和点光源时图像清晰程度不一样:平行光比点光源好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	167	1116	17.0	24.0
2	杜春蕾	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	2	19	2.0	2.0