磁控射频溅射法制备光波导薄膜研究

• 作者: 廖红伟 李佐宜 林更琪 王浩敏 胡雪涛
• 来源期刊: 光电子技术与信息
• 学科: 工学
• 关键词: 玻璃薄膜 磁控溅射 光波导
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与元器件
• 页码范围: 27-29,34
• 页数: 4页
• 分类号: TN25
• 字数: 1972字
• 语种: 中文

摘要

采用磁控射频溅射法制备了用作光波导器件的玻璃薄膜.通过选取不同的溅射材料,在不同溅射条件下制备的玻璃薄膜的光学参数进行的测量、比较,并对其作为光波导的性能进行研究,通过理论上推导与计算,得出了在1.55μm窗口下制备光波导器件的玻璃薄膜所应具备的溅射条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王浩敏	华中科技大学电子科学与技术系	10	48	3.0	6.0
2	林更琪	华中科技大学电子科学与技术系	26	85	4.0	7.0
3	李佐宜	华中科技大学电子科学与技术系	59	267	7.0	13.0
4	胡雪涛	华中科技大学电子科学与技术系	4	42	3.0	4.0
5	廖红伟	华中科技大学电子科学与技术系	10	91	5.0	9.0