迈克耳逊激光干涉仪的数字测角技术

• 作者: 王贵甫 陈桂林 陈雨良
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 迈克耳逊干涉仪 激光 角度 测量
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 测量和防护
• 页码范围: 338-342
• 页数: 6页
• 分类号: TN24
• 字数: 4982字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2001.05.010

摘要

介绍了一种利用迈克耳逊干涉仪进行精密角度测量的角度测量系统,该系统利用迈克耳逊干涉仪的干涉技术,通过转换将角位移转换为干涉仪可以利用的线位移,并通过专用电路对干涉条纹进行细分、计量,从而实现了对大转角的精密测量.与以往类似系统相比,该系统克服了测量误差随测量角度增大而增大、测量范围小等不足,具有测量精度高、测角范围大、数字化程度高等特点.同时,给出了系统的构成原理、设计注意事项和有关的精度分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈桂林	中国科学院上海技术物理研究所	89	626	14.0	18.0
2	王贵甫	中国科学院上海技术物理研究所	6	62	5.0	6.0
3	陈雨良	中国科学院上海技术物理研究所	7	79	5.0	7.0