容积式真空泵真空度测试装置的技术探讨

• 作者: 唐景远 王金锁
• 来源期刊: 四川真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空测量 薄膜真空计 压缩式真空计 容积式真空泵 真空度测试装置
• 年，卷（期）: sczkb_2001,（1）
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: TB752

摘要

本文提出了替代压缩式真空计测量容积式真空泵极限真空度的必要条件，并研制一种新颖的能完全替代压缩式真空计的测试仪器以及相关的装置和测试方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐景远		2	9	1.0	2.0
2	王金锁		1	0	0.0	0.0