声光调制器在激光直接写入系统中的应用

• 作者: 刘玉玲 徐国斌 杨国光
• 来源期刊: 浙江大学学报(工学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 声光调制器 激光直接写入 衍射光学
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: TN65
• 字数: 1992字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2001.01.012

摘要

介绍了声光调制器的光强调制原理及声光调制器在激光直接写入设备中实现光强稳定、连续可调的理论和设计．该声光调制器采用钼酸铅晶体作为声光介质，并给出了具体的结构参数．该系统曝光所能达到的最小线宽为0．6 μm．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨国光	浙江大学仪器科学与工程学系	91	1226	21.0	30.0
2	徐国斌	浙江大学仪器科学与工程学系	10	75	5.0	8.0
3	刘玉玲	浙江大学仪器科学与工程学系	41	331	9.0	17.0