铌离子注入改善铝表面的力学性能

• 作者: 李彬 柳百新 苗伟 陶琨
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金属间化合物 离子注入 力学性能
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 34-37
• 页数: 4页
• 分类号: TG113.251
• 字数: 2266字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.01.009

摘要

利用金属蒸气真空弧离子源，将大束流Nb离子注入到铝中，改善了铝表面的力学性能。在离子注入过程中直接形成了金属间化合物Al3Nb。金属间化合物的形成与离子注入的剂量有关。当Nb离子剂量达到3×1017ions／cm2时，Al3Nb相开始形成。随着注入剂量的增加，Al3Nb结晶的质量变好，当Nb离子剂量达到8×1017ions／cm2时，在铝的表面形成了约200 nm厚的金属化合物。随着注入剂量的增加，铝表面的硬度和弹性模量显著提高。当Nb离子剂量达到8×1017ions／cm2时，铝表面的硬度约为未注入样品的3倍，铝表面的弹性模量约是未注入样品的3倍。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陶琨		11	51	4.0	7.0
2	李彬		196	1122	13.0	32.0
3	柳百新		9	30	4.0	5.0
4	苗伟		8	25	3.0	5.0