基于电荷流动晶体管的新型气敏传感器

• 作者: 吴志明 姜健壮 李言荣 蒋亚东 谢丹
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 气体传感器 电荷流动晶体管(CFT) MOSFET LB膜 二氧化氮(NO2) 镨双酞菁配合物
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 933-937
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2964字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.07.024

摘要

在通常的MOSFET基础上,根据电荷流动电容器原理,设计了一种新型的栅区开槽的电荷流动场效应管(CFT),并以一种新型有机半导体材料--三明治型稀土金属元素镨双酞菁配合物(Pr[Pc(OC8H17)8]2为气敏材料,取代栅极中的间隙位置.利用LB超分子薄膜技术,将Pr[Pc(OC8H17)8]2以1∶3的配比与十八烷醇(OA)混合的LB多层膜(Pr[Pc(OC8H17)8]2-OA)拉制在CFT上,形成了一种新型的具有CFT结构的LB膜NO2气敏传感器.当对该器件加一栅压VGS时(大于阈值电压),由于高阻敏感膜充电达VGS需要一段时间,因而漏电流出现延迟现象.这种弛豫与NO2气体浓度有关,室温下探测灵敏度可达5ppm NO2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴志明	电子科技大学信息材料工程学院	78	544	13.0	17.0
2	蒋亚东	电子科技大学信息材料工程学院	318	2024	18.0	25.0
3	李言荣	电子科技大学信息材料工程学院	115	824	15.0	21.0
4	谢丹	电子科技大学信息材料工程学院	3	49	3.0	3.0
5	姜健壮	山东大学化学系	2	32	2.0	2.0