硅MSM光电探测器的研制

• 作者: 周海文 郭生士 陈朝 黄屏
• 来源期刊: 福光技术
• 关键词: 硅 MSM-PD 版图设计 剥离工艺
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 论著
• 页码范围: 19-22
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

本文报导了用于短波长光纤通讯硅MSM-PD的原理、版图设计和工艺流程,着重探讨了2微米栅状电极的光刻剥离工艺,并对该器件基本的光电性质进行了测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈朝	厦门大学物理系	63	420	11.0	18.0
2	周海文	厦门大学物理系	5	21	3.0	4.0
3	黄屏	厦门大学物理系	1	0	0.0	0.0
4	郭生士	厦门大学物理系	2	28	1.0	2.0