用于纳米精度大范围位移测量的半导体激光干涉仪

• 作者: 卢洪斌 宋松 步扬 王向朝 王学锋 钱锋
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米测量 光热调制 干涉仪 光学检测
• 年，卷（期）: 2001,（z1）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3|TN248.4
• 字数: 2153字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2001.z1.013

摘要

本文在作者提出的光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上,提出了一种扩大其测量范围的方法,使得在保持纳米精度的前提下,测量范围由半个波长扩大为125.56μm,并讨论了进一步扩大测量范围的可能性.本方法得到了模拟计算和实验结果的很好验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所	170	1628	23.0	35.0
2	步扬	中国科学院上海光学精密机械研究所	37	199	7.0	14.0
3	钱锋	中国科学院上海光学精密机械研究所	28	201	8.0	13.0
4	王学锋	中国科学院上海光学精密机械研究所	24	169	7.0	12.0
5	宋松	中国科学院上海光学精密机械研究所	5	83	4.0	5.0
6	卢洪斌	中国科学院上海光学精密机械研究所	16	100	4.0	9.0