扭摆式微硅隧道加速度传感器

• 作者: 史建伟 张旭 熊涛 茅盘松 金肖科 陈德英
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微硅 扭摆式 隧道效应 加速度传感器
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 页码范围: 285-294
• 页数: 10页
• 分类号: TN409|TN42
• 字数: 4149字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2001.04.005

摘要

本文介绍了扭摆式隧道加速度传感器的结构、工作原理、简化的力学模型,设计了版图、工艺流程及关键工艺,并制备出样品,最后给出测试电路和结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张旭	东南大学微电子中心	32	300	9.0	17.0
2	陈德英	东南大学微电子中心	7	61	6.0	7.0
3	茅盘松	东南大学微电子中心	5	45	4.0	5.0
4	史建伟	东南大学微电子中心	2	19	2.0	2.0
5	熊涛	东南大学微电子中心	3	33	3.0	3.0
6	金肖科	东南大学微电子中心	2	13	2.0	2.0