在有机玻璃上射频溅射ITO组合薄膜

• 作者: 孙连春 王哲 郑宣明 高劲松
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 文学
• 关键词: ITO膜 射频磁控溅射 表面改性 低温成膜
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 501-502
• 页数: 2页
• 分类号: J527.3
• 字数: 1760字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2001.06.034

摘要

利用射频磁控溅射技术在有机玻璃表面上一次完成表面活化、ITO膜制备、SiO2减反射膜制备过程.利用低能等离子体对有机玻璃表面进行改性以提高ITO膜的附着力.研究了氧分压等工艺参数对ITO膜导电性能及光学性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙连春	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	19	380	10.0	19.0
2	高劲松	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	63	701	16.0	23.0
3	王哲	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	32	141	7.0	11.0
4	郑宣明	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	39	2.0	3.0