压电超声微电机的研究现状与应用前景

• 作者: 曾周末 栗大超 赵伯雷 靳世久
• 来源期刊: 微电机
• 学科: 工学
• 关键词: 压电超声微电机 MEMS 研究现状 发展方向 关键技术 应用前景
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: TM38
• 字数: 5360字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6848.2001.03.010

摘要

从类型、原理和结构等角度重点讨论了当前压电超声直线微电机的研究现状和发展方向；以此展开，论述了目前压电超声微电机研究领域尚需深入探索的关键技术，结合国外的应用现状分析了压电超声微电机的应用前景。