微机械的基本特征、关键技术及应用前景

• 作者: 张芳 林良明
• 来源期刊: 传动技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械关键技术应用
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 25-33
• 页数: 9页
• 分类号: TH112
• 字数: 5190字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8244.2001.01.003

摘要

本文综述了微机械的发展、分类及基本特征。介绍了研究微机械所涉及的关键技术，并预测了微机械广泛的应用前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林良明	上海交通大学仪器工程系	67	1391	21.0	35.0
2	张芳	上海交通大学仪器工程系	23	180	6.0	13.0