钽表面离子渗氮工艺研究

• 作者: 付青峰 张德元 曾卫军 李放 林勤 罗文
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钽 离子渗氮 工艺
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 化学热处理
• 页码范围: 48-50
• 页数: 3页
• 分类号: TC156.8+2|TG146.4+16
• 字数: 1633字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-6264.2001.02.012

摘要

采用组合的二次回归正交设计方法,针对表面硬度、表面粗糙度,对钽表面离子渗氮工艺参数(气体压力、温度、氢气摩尔分数)进行了优化.根据回归结果和统计分析给出了回归方程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林勤	北京科技大学理化系	60	887	17.0	27.0
2	罗文	江西省科学院应用物理研究所	12	22	2.0	4.0
3	曾卫军	江西省科学院应用物理研究所	32	130	6.0	10.0
4	付青峰	江西省科学院应用物理研究所	44	121	6.0	8.0
5	李放	江西省科学院应用物理研究所	7	22	3.0	4.0
6	张德元	北京科技大学理化系	6	21	3.0	4.0