三温区晶体生长炉热场设计探讨

• 作者: 梁秀梅 陈巨才
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热场 三温区 控温精度 炉温均匀度 晶体炉
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 318-324
• 页数: 7页
• 分类号: TM9
• 字数: 3429字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2001.03.019

摘要

晶体生长炉是晶体生长的基础.根据三硼酸锂(LBO)、偏硼酸钡(β-BBO)等晶体生长的要求,我们设计制备了包含三温区的晶体生长炉.本文报道了关于该炉温场设计所考虑的基本问题和炉体材料的选择,给出了电气系统的基本框架及构件.实际测量表明:该炉控温精度在上温区为±0.135℃,中温区为±0.09℃,下温区为±0.136℃,高温区炉温均匀度为0.86℃,低温区炉温均匀度为-0.86℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁秀梅		11	65	6.0	7.0
2	陈巨才		1	9	1.0	1.0