微机械及微细加工方法的研究

• 作者: 于殿泓 卢秉恒 山本昌彦 郭俊杰 魏正英
• 来源期刊: 西安理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微细加工 快速成型 光刻 牺牲层 化学镀膜
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 74-77
• 页数: 4页
• 分类号: TP13|TH16
• 字数: 2286字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4710.2001.01.017

摘要

基于光固化快速成型制造技术，结合光刻技术、牺牲层技术以及化学镀膜技术，研究了一种新型的微细加工方法。提出了非导电极板（光敏树脂固化物）镀膜的新方案，设计了一种有较大驱动位移的微型电容式激励器，并介绍了其加工制作的工艺流程。实验结果表明此微细加工方法是可行的，从而开辟了微细加工的新途径。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢秉恒		387	5973	36.0	56.0
2	于殿泓	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	35	133	7.0	9.0
3	郭俊杰	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	22	215	8.0	14.0
4	山本昌彦		2	14	2.0	2.0